机译:用于细间距晶圆级封装的电气测试的中介层的仿真和制造
机译:封装中基于玻璃中介层的3D系统的制造,组装和测试
机译:基于纳米多孔氧化铝膜的MEMS晶圆级薄膜真空封装的设计,制造和测试
机译:MEMS设备晶圆级真空封装的制造和测试
机译:具有细间距贯穿通孔的低成本玻璃中介层的设计,制造和表征
机译:设计,制造和测试用于RF MEMS器件的保形,局部晶圆级封装。
机译:基于晶圆级MEMS真空封装的具有全玻璃电互连的高Q共振压力微传感器
机译:基于晶圆级真空封装MEMS谐振器的高分辨率应变传感器的制造