机译:制造用于晶圆级RF MEMS封装的无空隙铜填充玻璃通孔
机译:使用玻璃回流工艺实现具有嵌入式晶圆通孔的玻璃上硅MEMS器件,用于晶圆级封装和3D芯片集成
机译:使用玻璃回流工艺实现具有嵌入式晶圆通孔的玻璃上硅MEMS器件,用于晶圆级封装和3D芯片集成
机译:用于RF MEMS器件的晶片级包装,使用空隙通过玻璃通过玻璃通孔
机译:设计,制造和测试用于RF MEMS器件的保形,局部晶圆级封装。
机译:溅射封装作为可隔离MEMS器件的晶圆级封装:电容式加速度计上展示的一项技术
机译:用于RF-MEMS器件的晶片水平气密包装的热压键合