Sensitivity; Transducers; Force; Bridge circuits; Crosstalk; CMOS process; Residual stresses;
机译:利用压阻和电容传感机制的混合泡沫压力传感器
机译:热激励和压阻感测CMOS-MEMS谐振传感器的优化设计
机译:三轴柔性电容触觉传感阵列的分析建模
机译:垂直集成电容和压阻式感应单元,以扩大CMOS-MEMS触觉传感器的感应范围
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:压阻式触觉传感器可识别多方向力
机译:多功能编织结构作为摩擦电能收集器,电容式触觉传感器阵列和压阻式应变传感器阵列运行