MEMS; acoustics; electrostatic force; finite element modeling; mechanics; nonlinerities; sound pressure level; speaker;
机译:柔性基板上基于微机电系统(MEMS)的超声波静电执行器
机译:具有静电驱动原理的微机电扬声器系统的多场建模
机译:静电型膈肌的模拟与制造用于MEMS兼容的微流体系统片上芯片阀
机译:静电驱动微机电(MEMS)扬声器系统的建模
机译:带有金属合金电触点的静电射频(RF)微机电系统(MEMS)开关。
机译:带时滞反馈的静电驱动MEMS执行器的分叉控制
机译:静电隔膜对MEMS兼容微流体系统片上阀型静电隔膜的建模与制造
机译:电离辐射对微机电系统(mEms)执行器的影响:静电,电热和残余应力