Laser thermal annealing; B activation; Shallow doping; Surface roughness;
机译:B和BF_2注入Si的准分子激光退火
机译:准分子激光退火的BF_2〜+注入Si二极管的表面形貌
机译:BF_2〜+注入硅化物/通过硅化物和快速热退火形成NiSi硅化的p〜+ n浅结
机译:使用准分子激光退火在SI中激活浅B和BF_2植入物
机译:基准激光退火Si薄膜的微观结构分析与表面平面
机译:LASIK和PRK中准分子激光对植入式心脏设备患者的安全性:我们过去两个十年的临床经验
机译:通过注入和受激准分子激光退火实现的对n-Ge和行为良好的Ge n(+)/ p二极管的低比接触电阻率
机译:脉冲准分子激光(308海里)退火离子注入硅和太阳能电池制造