2D decomposition; ILP; SADP; hot-spot detection; overlay minimization;
机译:防重叠自对准双图案(SADP)布局分解的多项式时间精确算法
机译:使用切割工艺的自对准双图案光刻技术的叠加感知详细布线
机译:低于10nm节点设计的二维随机金属的自对准双图案布局分解
机译:覆盖最小化和热点检测的自对准双图案化分解
机译:自对准双图案的蚀刻研究
机译:在酵母减数分裂重组热点处形成双链断裂之前先进行序列非特异性双链断裂和同源相互作用。
机译:双重图案布局分解同时冲突和缝合最小化