Oxygen precipitate; POCl_3 diffusion; Defects; Czochralski; PERC;
机译:P型硅太阳能电池加工POCL3扩散磷发射极形成的优化
机译:直拉生长硅中的氧结合和沉淀
机译:氧在切克劳斯基生长的硅中对硼的低温硼和磷的吸收作用
机译:POCL3扩散工艺参数对Czochralski-生长硅氧沉淀的影响
机译:铬和锰掺杂的直拉生长的铋(12)锗氧(20)的光致变色和光折变响应。
机译:使用牺牲多孔硅层的多晶硅磷扩散吸杂工艺
机译:POCl3扩散过程中扩散参数与磷沉淀的关系
机译:膦 - 氧扩散系统作为硅集成电路制造工艺的评价