机译:使用MEMS器件合成硅纳米线的压阻特性
机译:使用集成的压阻硅纳米线,具有亚安培噪声级的大范围MEMS运动检测
机译:核心壳碳化硅纳米线的应变工程,用于机械和压阻性特征
机译:使用MEMS装置的硅纳米线的压阻性表征
机译:使用MEMS器件的结晶纳米线的原位扫描电子显微镜机械表征
机译:硅纳米线的压阻效应的表征
机译:使用mEms器件的合成硅纳米线的压阻特性
机译:航空航天传感器组件和子系统调查与创新-2组件探索与开发(asCsII-2 CED)交付订单0003:采用选择性和大型的微机电系统(mEms)器件的三维Gaas硅和硅硅封装的气密密封腔 - 规模粘合