机译:使用MEMS器件合成硅纳米线的压阻特性
Advanced Micro and Nanosystems Laboratory, University of Toronto, Toronto, Canada;
Electrical characterization; mechanical characterization; microelectromechanical systems (MEMS) tensile testing; nanomanipulation; piezoresistivity characterization; scanning electron microscope (SEM); silicon nanowires;
机译:使用集成的压阻硅纳米线,具有亚安培噪声级的大范围MEMS运动检测
机译:核心壳碳化硅纳米线的应变工程,用于机械和压阻性特征
机译:MEMS可调硅纳米线波导耦合器器件的解析耦合系数
机译:使用MEMS器件对硅纳米线的压阻特性进行表征
机译:使用MEMS器件的结晶纳米线的原位扫描电子显微镜机械表征
机译:硅纳米线的压阻效应的表征
机译:使用mEms器件的合成硅纳米线的压阻特性
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