MEMS; convective accelerometer; etching defects; fault modeling;
机译:CMOS mems单轴对流加速度计的灵敏度和功率建模
机译:基于FEM和Hardee模型的CMOS MEMS热加速度计对流行为分析
机译:MEMS对流加速度计的行为模型,用于评估系统级的设计和校准策略
机译:建模蚀刻缺陷对MEMS对流加速度计灵敏度的影响
机译:用于电容MEMS加速度计灵敏度表征的仅电刺激BIST IC
机译:基于硅晶片蚀刻工艺的MEMS微克电容式加速度计
机译:MEMS悬臂梁压电加速度计和SHM(结构健康监测)应用的高灵敏度设计简单分析模型
机译:solutocapillary对流对聚合物膜大孔隙缺陷形成的影响