OPC (optical proximity correction); CP (character projection); optimization; lithography; EBDW (electron beam direct-write);
机译:通过尺寸可控的纳米球光刻技术制造的p-GaN图案化的InGaN / GaN发光二极管的光提取效率
机译:图案阵列的两步优化,以提高光导板的光提取效率和均匀性
机译:使用纳米球光刻技术改进具有深孔图案的大面积垂直发光二极管的光提取
机译:采用OPC优化提高人物投影光刻图案提取效率
机译:利用基于图像的格式,以优化模式数据格式和掩模和掩模模式生成光刻的处理
机译:聚苯乙烯纳米光学光刻法制备的光子晶体结构P-GAN纳米棒的研究提高了INGAN / GAN绿色发光二极管光提取效率
机译:一种用于字符投影光刻的吞吐量增强的字符尺寸优化技术
机译:图案化蓝宝石衬底上的氮化镓发光体,可提高缺陷率和光提取效率