OPC; sigma7500; calibre; DUV; mask writer; SLM;
机译:激光工艺接近度校正,用于改善光掩模上的临界尺寸线性
机译:激光工艺接近度校正,用于改善光掩模上的临界尺寸线性
机译:嵌入式OPC:将激光打标机扩展到65/45 nm
机译:通过嵌入式OPC提高Sigma7500-II Duv激光作家写入的光掩模的CD线性和接近性能
机译:使用线性加权方案进行改进的手套单词嵌入单词相似性任务
机译:使用低功率CD激光进行选择性激光烧蚀可调节荧光的嵌入式PDMS衍生的碳纳米域的受控无溶剂形成
机译:1 CD的变化校正,采用基于激光的新型工艺对光掩模进行局部透射控制