Semiconductor Manufacturing; Microlithography; Self-tuning Control; Iterative FeedbackTuning; Temperature Control; Photoresist Processing;
机译:控制光刻胶膜厚度:迭代反馈调整方法
机译:光刻胶膜厚均匀性的实时预测控制
机译:使用迭代反馈调整对多变量PID控制器进行自动调整
机译:光致抗蚀剂膜厚度的迭代反馈调谐控制
机译:反馈控制的整合和运行控制对氧化铪薄膜的等离子体增强的原子层沉积
机译:通过控制蜡的热释放来调节微纤化纤维素膜疏水性的机理
机译:基于迭代反馈调谐方法的Parafoil系统无模型自适应控制