College of Nanoscale Science Engineering, 257 Fuller Rd., Albany, NY 12203;
GLOBALFOUNDRIES U.S. Inc., 255 Fuller Rd., Suite 280, Albany, NY 12203;
GLOBALFOUNDRIES U.S. Inc., 255 Fuller Rd., Suite 280, Albany, NY 12203;
GLOBALFOUNDRIES U.S. Inc., 255 Fuller Rd., Suite 280, Albany, NY 12203;
GLOBALFOUNDRIES U.S. Inc., 1050 Arques Ave., Sunnyvale, CA 94085;
Nanometrics, 550 Buckeye Drive, Milpitas, CA 95035;
Nanometrics, 550 Buckeye Drive, Milpitas, CA 95035;
College of Nanoscale Science Engineering, 257 Fuller Rd., Albany, NY 12203;
Directed Self-Assembly; Scatterometry; OCD; Mueller matrix; Ellipsometry; Block copolymer;
机译:基于Mueller矩阵散射法的嵌段共聚物定向自组装结构的计量学
机译:纳米压印光刻技术制备的纳米图案POSS衬底上的聚苯乙烯嵌段聚二甲基硅氧烷嵌段共聚物大面积定向自组装的软石墨外延
机译:用于定向自组装辅助接触孔收缩的光学临界尺寸计量
机译:使用定向自组装嵌段共聚物线阵列构图的Si鳍的Mueller矩阵光散射法
机译:用于基于Mueller矩阵光谱椭偏仪的散射法进行定向自组装构图的光学计量学。
机译:通过自组装形成层状聚苯乙烯嵌段聚(二甲基硅氧烷)二嵌段共聚物通过纳米压印光刻技术制备的纳米图案。
机译:采用散射计量学和半物理建模的光刻过程控制
机译:用于增强半导体计量开发的光学散射仪的仪器