Directed self-assembly; Ellipsometry; Mueller matrix; OCD; Scatterometry; block copolymer;
机译:基于Mueller矩阵散射法的嵌段共聚物定向自组装结构的计量学
机译:通过无抗蚀剂直接电子束曝光创建用于嵌段共聚物定向自组装的引导图案
机译:使用纳米压印光刻胶模板以小于15 nm间距的线型直接指导聚(2-乙烯基吡啶)-b-聚苯乙烯-b-聚(2-乙烯基吡啶)三嵌段共聚物的自组装
机译:使用定向自组装嵌段共聚物线阵列图案的Si鳍片的Mueller矩阵光学散射测定法
机译:用于基于Mueller矩阵光谱椭偏仪的散射法进行定向自组装构图的光学计量学。
机译:新型线性-树枝状嵌段共聚物的受控ATRP合成及其在呼吸图形阵列中的定向自组装
机译:使用多嵌段共聚物定向自组装的Sub-5 NM图案的开发