micromechanical devices; humidity sensors; temperature sensors; electrodes; polymer films; micromachining; MEMS; humidity sensors; temperature sensors; signal drift compensation; environmental control; process monitoring; biomedical analysis; microfabrication; glass substrate; electrode; capacitor; thin-film platinum resistors; polymer film; microcantilever; humidity variation; micro temperature detector; sensitivity; humidity sensor; polyimide; temperature sensor;
机译:基于微机的湿度传感器,带有集成温度传感器,用于信号漂移补偿
机译:具有集成温度补偿机制的基于MEMS的湿度传感器
机译:使用基于石墨烯氧化物的双QCM湿度传感器减少和补偿寒冷温度下的湿度测量误差
机译:基于MEMS的湿度传感器,具有用于信号漂移补偿的集成温度传感器
机译:减轻惯性传感器中的电磁干扰和偏置漂移的补偿
机译:基于MEMS的电化学地震传感器的温度补偿
机译:具有集成温度补偿和信号调节电路的高温MEMS压力传感器的设计
机译:利用干涉波前传感器和高分辨率mEms空间光调制器对大气湍流进行自适应补偿