CMOS integrated circuits; work function; thermal stability; annealing; laminated metal gate electrode; tunable work function; advanced CMOS; RTP annealing; thermal stability; Ta; TaN; Ti; TiN; Hf; HfN; SiO/sub 2/; HfO/sub 2/; HfON; TiTaN/sub x/;
机译:具有可调整功函数的CMOS应用的三层层压金属栅电极
机译:不同厚度的可调整功函数金属栅极到高/金属栅极CMOS FinFET的栅极优先集成
机译:金属卟啉自组装单层的可变界面偶极子,用于先进CMOS技术中的金属门功函数调节
机译:具有可调谐工作功能的层压金属栅电极,用于高级CMOS
机译:用于高级CMOS技术的反应溅射HfxSi yNz金属栅电极的功函数调整。
机译:金属有机框架作为设计功能分子材料的可调平台
机译:金属卟啉自组装单层的可变界面偶极子,用于先进CMOS技术中的金属门功函数调节