机译:通过碳注入来抑制硅中氧化增强的硼扩散,并通过碳注入沟道对MOSFET进行表征
机译:使用超薄再氧化氮化栅氧化物抑制BF / sub 2 // sup +/-注入的多晶硅栅p-MOSFET中的硼渗透
机译:碳共注入对非熔融激光退火后硼的失活和扩散的抑制
机译:通过碳植入和具有碳植入通道的MOSFET在硅中抑制氧化增强的硼扩散
机译:用于金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)应用的外延硅锗碳层的表征。
机译:硅橡胶的生物功能化,具有微沟槽图案的表面和碳离子注入,可增强生物相容性并减少胶囊形成
机译:通过高能氟注入减少硼热扩散和消除硼瞬态增强的硅扩散
机译:从超低能量硼注入中硼增强硼的扩散