机译:研究通过低温等离子体化学沉积形成的非化学计量氮化硅薄膜的光学性质和表面结构,以用于MEMS结构。
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机译:低温等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的纳米结构特征和力学性能
机译:使用原位MEMS温度传感器在高温下氮化硅薄膜的机械和热物理性质
机译:低温下基于MEMS的氮化硅薄膜材料和器件,用于太空应用。
机译:氮化铝纳米填充剂对高压户外绝缘子应用的高温硫化硅橡胶的机械电气和热性能的影响
机译:低温下LPCVD氮化硅薄膜的力学性能表征