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1.
Torsion testing of diffusion bonded LIGA formed nickel
机译:
扩散键合LIGA形成镍的扭转测试
作者:
T.R.Christenson
;
T.E.Buchheit
;
D.T.Schmale
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
2.
The benefits of process parameter ramping during the plasma etching of high aspect ratio silicon structures
机译:
在高深宽比硅结构的等离子蚀刻过程中,工艺参数倾斜的好处
作者:
J.Hopkins
;
H.Ashraf
;
J.K.Bhardwaj
;
A.M.Hynes
;
I.Johnston
;
J.N.Shepherd
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
3.
Sol-gel casting of ceramic microcomponents
机译:
溶胶-凝胶法铸造陶瓷微零件
作者:
C.M.Chan
;
G.Z.Cao
会议名称:
《》
|
1998年
4.
A Direct Molding Technique to Fabricate Silica Micro-Optical Components
机译:
硅微光学元件的直接成型技术
作者:
Choon-Keat Terence Lee
;
Michael J.Vasile
;
Jost Goettert
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
5.
Laser machining with ultrashort pulses: effects of pulse-width, frequency and energy
机译:
超短脉冲激光加工:脉冲宽度,频率和能量的影响
作者:
D.E.Bliss
;
D.P.Adams
;
S.M.Cameron
;
T.S.Luk
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
6.
Rapid thermal annealing for residual-stress relaxation in undoped or doped pol ysilicon thin films
机译:
快速热退火可消除未掺杂或掺杂的多晶硅薄膜中的残余应力
作者:
Xin Zhang
;
Tong-Yi Zhang
;
Yitshak Zohar
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
7.
Performance of ultra hard carbon wear coatings on microgears fabricated by liga
机译:
Liga制成的微齿轮上的超硬碳耐磨涂层的性能
作者:
Joel W.Ager
;
Othon R.Monteiro
;
Ian G.Brown
;
David M.Follstaedt
;
James A.Knapp
;
Michael T.Dugger
;
Todd R.Christenson
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
8.
Ineluence of specimen size and sub-micron notch on the fracture behavior of single crystal silicon microelements and nanoscopic afm damage evaluation
机译:
标本尺寸和亚微米缺口对单晶硅微元素断裂行为的影响以及纳米原子力显微镜的损伤评估
作者:
Kohji Minoshima
;
Shigemichi Inoue
;
Tomota Terada
;
Kenjiro Komai
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
9.
Extraction of the coefficient of thermal expansion of thin films from buckled membranes
机译:
从曲折膜中提取薄膜的热膨胀系数
作者:
V.Ziebart
;
O.Paul
;
H.Baltes
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
10.
Mechanical properties of SU-8
机译:
SU-8的机械性能
作者:
A.McAleauey
;
G.Coles
;
R.L.Edwards
;
W.N.Sharpe
;
Jr.
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
11.
Mechanical and thermophysical properties of silicon nitride thin films at high temperatures using in-situ MEMS temperature sensors
机译:
使用原位MEMS温度传感器在高温下氮化硅薄膜的机械和热物理性质
作者:
Patricia Nieva
;
Haruua Tada
;
Paul Zavracky
;
George Adams Ioannis Miaoulis
;
Peter Wong
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
12.
SiC thin film characterization and stress measurements for high temperature sensors applications
机译:
用于高温传感器应用的SiC薄膜表征和应力测量
作者:
C.Gourbeyre
;
P.Aboughe-nze
;
C.Malhaire
;
M.Le Berre
;
Y.Monteil
;
D.Barbier
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
13.
Silicon electromachining processes in aqueous solutions
机译:
水溶液中的硅电加工过程
作者:
M.Kovler
;
D.Starosvetsky
;
Y.Nemirovsky
;
J.Yahalom
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
14.
Conformal electroless copper and nickel deposition on mems structures
机译:
记忆结构上的共形化学镀铜和镍沉积
作者:
Hercules P.Neves
;
Thomas D.Kudrle
;
Jia-Ming Chen
;
Scott G.Adams
;
Michel Maharbiz
;
Sergey Lopatin
;
N.C.MacDonald
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
15.
Dry etching of sol-gel PZT
机译:
溶胶-凝胶PZT的干法蚀刻
作者:
R.Zeto
;
B.Rod
;
M.Dubey
;
M.Ervin
;
J.Conrad
;
R.Piekarz
;
S.Troliermckinstry
;
T.Su
;
J.Shepard
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
16.
Determining the high-temperature properties of thin films using bilayered cantilevers
机译:
使用双层悬臂梁确定薄膜的高温特性
作者:
H.Tada
;
P.Nieva
;
P.Zavracky
;
I.N.Miaoulis
;
P.Y.Wong
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
17.
Dependence of silicon fracture strength and surface morphology on deep reactive ion etching parameters
机译:
硅断裂强度和表面形态对深反应离子刻蚀参数的依赖性
作者:
Kuo-Shen Chen
;
Arturo A.Ayon
;
Devin A.Lohner
;
Mark A.Kepets
;
Terran K.Melconian
;
S.Mark Spearing
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
18.
Deep Reactive Ion Etching of Silicon
机译:
硅的深度反应离子刻蚀
作者:
A.A.Ayou
;
K.-S.Chen
;
K.A.Lohner
;
S.M.Spearing
;
H.H.Sawin
;
M.A.Schmidt
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
19.
A Novel range of noble metal organometallic fluorides for use in the fabrication of submicron metal features by E-beam or UV lrradiation
机译:
新型的贵金属有机金属氟化物系列,可用于通过电子束或紫外线辐射制造亚微米金属特征
作者:
J.Thomson
;
A.H.Fzea
;
J.Lobban
;
P.McGiuern
;
J.A.Cairns
;
A.G.Fitzgerald
;
G.J.Berry
;
M.R.Davidson
;
Y.C.Fan
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
20.
Micro-tensile and fatigue testing of copper thin films on substrates
机译:
基板上铜薄膜的微拉伸和疲劳测试
作者:
M.Hommel
;
O.Kraft
;
S.P.Baker
;
E.Arzt
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
21.
Understanding and tailoring the mechanical properties of liga fabricated materials
机译:
了解和定制Liga预制材料的机械性能
作者:
T.E.Buchheit
;
T.R.Christenson
;
D.T.Schmale
;
D.A.Lavan
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
22.
Thin film stress measurement with a tunneling sensor
机译:
使用隧道传感器进行薄膜应力测量
作者:
P.Zhang
;
R.P.Vinci
;
J.C.Bravman
;
T.W.Kenny
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
23.
The synthesis of novel polynuclear organogold complexes
机译:
新型多核有机金配合物的合成
作者:
J.Thomson
;
A.H.Fzea
;
J.Lobban
;
P.G.McGivern
;
J.A.Cairns
;
A.G.Fitzgerald
;
G.J.Berry
;
M.R.Dauidson
;
Y.C.Fan
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
24.
Reliability and properties of PZT thin films for MEMS applications
机译:
MEMS应用中PZT薄膜的可靠性和性能
作者:
D.F.Bahr
;
J.C.Merlino
;
P.Banerjee
;
C.M.Yip
;
A.Bandyopadhyay
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
25.
Stress-caused deflections of asymmetrical coated single-crystal silicon elements
机译:
非对称涂层单晶硅元件的应力引起的挠曲
作者:
M.Kuechler
;
K.Griesbach
;
A.Bertz
;
T.Gessner
;
W.Faust
;
R.Dudek
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
26.
Microstructural Evolution of Co-fired Ceramic Tapes for MEMS Applications
机译:
MEMS应用共烧陶瓷带的微观结构演变
作者:
S.Uebpong Charoenmechaikul
;
David E.Luzzi
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
27.
Microfabricated silicon carbide microengine structures
机译:
超细碳化硅微引擎结构
作者:
Kevin A.Lohner
;
Kuo-Shen Chen
;
Arturo A.Ayon
;
S.Mark Spearing
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
28.
Recent developments in experimental and theoretical studies of the mechanical behavior of polycrystalline silicon for microelectromechanical systems
机译:
用于微机电系统的多晶硅力学行为的实验和理论研究的最新进展
作者:
R.Ballarini
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
29.
Fullerene Derivatives as Novel Resist Materials for Fabrication of MEMS Devices by Electron Beam Lithography
机译:
富勒烯衍生物作为通过电子束光刻技术制造MEMS器件的新型抗蚀材料
作者:
A.P.G.Robinson
;
R.E.Palmer
;
T.Tada
;
T.Kanayama
;
E.J.Shelley
;
J.A.Preece
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
30.
Micrometer-scale machining of metals and polymers enabled by focused ion beam sputtering
机译:
通过聚焦离子束溅射实现金属和聚合物的微米级加工
作者:
D.P.Adams
;
G.L.Benavides
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
31.
Meso-scale pressure transducers utilizing low temperature co-fired ceramic tapes
机译:
利用低温共烧陶瓷带的中尺度压力传感器
作者:
H.Lynch
;
J.Park
;
P.A.Espinoza-valejos
;
J.J.Santiago-aviles
;
L.Sola-laguna
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
32.
Surface Dipoles Influence the Wettability of Terminally Fluorinated Organic Films
机译:
表面偶极子影响末端氟化有机膜的润湿性
作者:
R.Rmon Colorado
;
Jr
;
M.Graupe
;
M.Takenaga
;
T.Koini
;
T.R.Lee
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
33.
Shape memory and magnetostrictivel materials for MEMS
机译:
MEMS的形状记忆和磁致伸缩材料
作者:
M.Wuttig
;
E.Quandt
;
A.Ludwig
;
B.Winzek
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
34.
Circuit pattern Cu deposition on polyimide surface using ArF excimer laser
机译:
使用ArF准分子激光在聚酰亚胺表面沉积电路图案Cu
作者:
M.Tomita
;
M.Murahara
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
35.
Dc magnetron reactive sputtering of low stress AIN piezoelectric thin films for MEMS application
机译:
适用于MEMS的低应力AIN压电薄膜的DC磁控反应溅射
作者:
Peter Hsieh
;
Rafael Reif
;
Brian Cunningham
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
36.
Fabrication of MEMS devices by powder-filling into DXRL-formed molds
机译:
通过粉末填充到DXRL形成的模具中来制造MEMS器件
作者:
T.J.Garino
;
T.Christenson
;
E.Venturini
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
37.
Etch selectivity of novel epitaxial layers for bulk micromachining
机译:
新型外延层对整体微细加工的蚀刻选择性
作者:
J.T.Borenstein
;
N.D.Gerrish
;
M.T.Currie
;
E.A.Fitzgerald
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
38.
Diamond and Polycrystalline Diamond for MEMS Applications: Simulations and Experiments
机译:
用于MEMS应用的金刚石和多晶金刚石:仿真和实验
作者:
Tahir Cagin
;
Jianwei Che
;
Michael N.Gardos
;
William A.Goddard
会议名称:
《Materials science of microelectromechanical systems(MEMS) devices》
|
1998年
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