Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing 210096, China;
cellular automata; process simulation; micromachining; plasma etching; MEMS;
机译:基于湿法刻蚀工艺的新型硅微结构实现方法
机译:基于湿法刻蚀工艺的新型硅微结构实现方法
机译:基于元胞自动机模型的印制电路换热器通道二维化学刻蚀工艺仿真
机译:MEMS / NEMS器件制造中深石英和硅蚀刻工艺中磁空环排出等离子体的应用
机译:基于元胞自动机的方法在基于合金的加成过程中理解材料-过程-微观结构关系的用途
机译:基于硅晶片蚀刻工艺的MEMS微克电容式加速度计
机译:利用元胞自动机模拟技术进行体硅蚀刻的高效工艺开发