Department of Materials Science and Engineering Stanford University Stanford, CA 94305, USA;
JSR Micro, Inc., 1280 N. Mathilda Ave., Sunnyvale, CA 94089, USA;
机译:随时间变化的介电击穿故障中超低k介电材料降解和Cu /超低k互连的纳米结构改变的证据
机译:将铜/超低k与CMP集成
机译:合作应用超低k电介质和高k介电材料,用于耦合多层石墨烯纳米架互连的性能增强
机译:优化超低速仪电介质的CMP
机译:通过纳米压痕表征无铅焊料凸块和超低k电介质的机械性能
机译:气相沉积的沸石咪唑酸酯骨架可作为填隙的超低k电介质
机译:合作应用超低k电介质和高k介电材料,用于耦合多层石墨烯纳米架互连的性能增强