Infineon IFDA, Villach, Germany;
机译:使用MUMP,沟槽填充成型,DRIE和体硅蚀刻工艺的集成来设计和制造MEMS器件
机译:将不同的SOI技术提高到900V以上的工作电压的不同设备概念的比较
机译:带条纹沟槽电极的SOI RESURF横向器件的概念
机译:用于补偿装置制造的新型沟槽概念
机译:紧凑的基于沟槽的弯曲和分离器器件,用于硅上绝缘肋波导。
机译:与留置装置相关的感染:发病机理的概念;与血管内装置相关的感染。
机译:不同器件概念的比较将开关隔离式sOI技术的工作电压提高到900V以上
机译:铀-233 /钍循环对高级问责概念和制造设施的影响。高级问责概念在混合氧化物制造中的应用附录2