适用于X射线摄象和其它用途的新型沟槽限定MISIM CCD结构

摘要

本文提出并分析了一种新颖的电荷耦合器件(CCD),这种器件是一种采用沟槽限定的金属-绝缘体-半导体-绝缘体-金属(MISIM)夹层结构。这种CCD具有很高的电荷容量和很深的光致载流子收集深度。沟槽CCD结构在X射线摄象以及高密度可见光和红外光摄象方面都具有潜在应用前景。