極薄絶縁層を有するシリカ凝集体エレクトレットを用いた空中超音波センサーの製作と特性評価

摘要

厚さ 1.61.6 〜3.83.8 µm の極薄絶縁層を有するシリカ凝集体エ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ レクトッを用いた空中超音波センサ ーの特性 評価の特性 評価の特性 評価の特性 評価の特性 評価の特性 評価の特性 評価評価を行った。rn(1) ECS の絶縁層を薄膜化したことで、シリカ凝集体 エレ クトレッを用いた ECS の超音波送受信感度は大きく 向上した。 また、 ECS の共振周波数も増加した。