Institute of Physics Nanotechnology and Telecommunications Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University Saint Petersburg Russia;
Films; Aluminum oxide; Electric breakdown; Dielectric losses; Radiation effects; Breakdown voltage;
机译:氧化铝氧化铝氧化锌光电晶体管通过原子层沉积与HFO2介电层
机译:审查 - 调查和审查原子层的热,机械,电气,光学和结构性能,高k电介质:氧化铍,氧化铝,氧化铪和氮化铝
机译:原子层在硅上沉积的高k电介质氧化铝,氧化ha和氧化钛薄膜的热导率和热边界电阻
机译:用原子层沉积获得的氧化铝层的介电性能和辐射性
机译:使用基于臭氧的ALD(原子层沉积)的高K电介质沉积(氧化铝),用于石墨烯基器件。
机译:原子层沉积生长的锡和锆氧化物双层纳米结构的机械和磁性
机译:原子尺度结构及其对二氧化硅原子层沉积制备的氧化铝层化学性质的影响
机译:阳极氧化铝模板原子层沉积法制备纳米多孔活性氧化铱薄膜