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【2h】

Atomic-Scale Structure and its Impact on Chemical Properties of Aluminum Oxide Layers Prepared by Atomic Layer Deposition on Silica

机译：原子尺度结构及其对二氧化硅原子层沉积制备的氧化铝层化学性质的影响

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Monu Kaushik; César Leroy; Zixuan Chen; David Gajan; Elena Willinger; Christoph Müller; Franck Fayon; Dominique Massiot; Alexey Fedorov; Christophe Copéret; Anne Lesage; Pierre Florian;
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年度 2021
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