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【24h】

Low temperature CVD growth of graphene nano-flakes directly on high K dielectrics

机译:直接在高K电介质上进行石墨烯纳米薄片的低温CVD生长

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摘要

The potential of MgO and ZrO_2 as catalytically active substrates for graphene formation via thermal CVD is explored. Experimental observations show the growth of single and multilayer graphene nano-flakes over MgO and ZrO_2 at low temperatures. The graphene nano-flakes are found to anchor at step sites. Ab initio calculations indicate step sites are crucial to adsorb and crack acetylene.
机译:探索了MgO和ZrO_2作为通过热CVD形成石墨烯的催化活性底物的潜力。实验观察表明,在低温下,单层和多层石墨烯纳米薄片在MgO和ZrO_2上的生长。发现石墨烯纳米薄片锚定在台阶部位。从头算计算表明台阶部位对于吸附和裂解乙炔至关重要。

著录项

  • 来源
  • 会议地点 Boston MA(US);Boston MA(US)
  • 作者单位

    Leibniz-Institut fuer Festkoerper- und Werkstoffforschung Dresden e. V., PF 27 01 16, 01171 Dresden.Germany,Technische Universitaet Dresden, 01062 Dresden, Germany;

    Leibniz-Institut fuer Festkoerper- und Werkstoffforschung Dresden e. V., PF 27 01 16, 01171 Dresden.Germany;

    Technische Universitaet Dresden, 01062 Dresden, Germany;

    Leibniz-Institut fuer Festkoerper- und Werkstoffforschung Dresden e. V., PF 27 01 16, 01171 Dresden.Germany;

    Leibniz-Institut fuer Festkoerper- und Werkstoffforschung Dresden e. V., PF 27 01 16, 01171 Dresden.Germany;

    Leibniz-Institut fuer Festkoerper- und Werkstoffforschung Dresden e. V., PF 27 01 16, 01171 Dresden.Germany,Technische Universitaet Dresden, 01062 Dresden, Germany;

    Leibniz-Institut fuer Festkoerper- und Werkstoffforschung Dresden e. V., PF 27 01 16, 01171 Dresden.Germany;

    Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny, Pulaskiego 10, 70322 Szczecin, Poland;

    Technische Universitaet Dresden, 01062 Dresden, Germany,Division of IT Convergence Engineering and National Center for Nanomaterials Technology ,POSTECH, Pohang 790-784, Republic of Korea;

    Leibniz-Institut fuer Festkoerper- und Werkstoffforschung Dresden e. V., PF 27 01 16, 01171 Dresden.Germany;

  • 会议组织
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 半导体技术;
  • 关键词

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