University of Wuppertal, Rainer-Gruenter-Str. 21, 42119 Wuppertal, Germany;
hot embossing lithography; wafer-scale imprint; vacuum embossing;
机译:热压花工艺参数对无真空条件下产生的聚合物流量和微通道精度的影响
机译:超声波振动对热玻璃压花过程中压花速度的影响
机译:通过柔软印模热压花法将溶液和热蒸发的溶液的结构化和热蒸发的AS33S67薄膜
机译:真空环境对热压花过程的影响
机译:原位表面清洁严格控制的真空环境对金和钌基射频微机电开关的接触电阻的影响。
机译:无线冷却过程的玻璃微棱镜阵列热压花的理论与实验研究
机译:热压花图案:热压花工艺技术实时形成任意模式(ADV。Mater。Technol.11/2020)
机译:聚合物膜厚度和腔体尺寸对压花过程中聚合物流动的影响:纳米压印光刻的工艺设计规则