Infineon Technologies SC300 GmbH Co. KG, Memory Development Center, Koenigsbruecker Str. 180, 01099 Dresden, Germany;
scatterometry; spectroscopic ellipsometry; DRAM; polysilicon recess; depth control;
机译:集成多晶硅填充沟槽的整体技术中的多栅极MOSFET
机译:沟槽宽度和深度对沟槽中嵌入圆柱孔的薄膜冷却的影响
机译:光栅的椭圆偏振光谱法和反射法(散射法),用于关键尺寸测量和原位实时过程监控
机译:基于光谱椭圆形的散射测定法用于多晶硅填充深沟的深度和线宽测量
机译:适用于深度,宽度和间隙测量的非接触式空间受限光学扫描方法。
机译:深度机学习模型在RP的SD-OCT图像中自动测量EZ宽度的应用
机译:混凝土应变的微型机械测量,以评价其宽度和深度RCC中频深梁主应变分布
机译:俄克拉荷马州深井地震噪声测量:在存在高表面噪声的情况下作为深度函数的特征。