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Method to reduce the height of a layer of semiconductor oxide and its method to manufacture a semiconductor device with low depth insulation trenches and deep insulation trenches

机译:降低半导体氧化物层的高度的方法及其制造具有低深度绝缘沟槽和深绝缘沟槽的半导体器件的方法

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号IT201800000729A1

    专利类型

  • 公开/公告日2019-07-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LFOUNDRY S.R.L.;

    申请/专利号IT201800000729

  • 发明设计人 PONZI GIAMPIERO;

    申请日2018-01-11

  • 分类号H01L;

  • 国家 IT

  • 入库时间 2022-08-21 11:59:48

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