Laser Plasma Laboratory, School of Optics-CREOL at University of Central Florida;
EUV source; tin plasma; debris; ion spectra; inhibition; mitigation;
机译:质量受限,无碎片的激光等离子EUV源
机译:激光等离子源,用于极紫外(EUV)光刻激光等离子源,用于极紫外(EUV)光刻
机译:带有液滴靶的激光产生的锡等离子体碎屑的EUV光源成像诊断
机译:微观激光等离子体掺锡液滴EUV源的碎片表征和缓解
机译:用于EUV光刻的液滴激光等离子体源的碎片表征和缓解。
机译:使用实验室激光等离子光源的单次发射近边缘X射线精细结构(NEXAFS)光谱
机译:液滴目标激光等离子体软x射线源中的碎片消除