一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统

摘要

本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求，主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过滤器、自动控制装置等构成，集熔锡、过滤与罐装于一体，采用电阻丝加热方式熔锡，整个系统与氮气保护气氛及真空泵相连。通过调节熔锡罐内的气体压力，熔化后的锡液经过滤后流入储液罐，整个过程采用真空熔炼，惰性气体保护下罐装，极大程度地避免了氧化。此外，通过控制熔锡罐内的液位，保证最后1cm锡液不流入储液罐中，从而进一步降低锡液中的氧化物含量。该装置集成化程度高，操作安全方便，适用于EUV光源锡原料的罐装。