Mass-limited, debris-free laser-plasma EUV source

Martin Richardson; David Torres; Chris DePriest

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Mass-limited, debris-free laser-plasma EUV source

机译：质量受限，无碎片的激光等离子EUV源

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The development of a laser-plasma EUV line emission source based on frozen water droplet targets which is essentially debris-free and capable of continuous, high-repetition-rate (> 1 kHz) operation is described. Created by modest ( 展开▼

机译：描述了基于冷冻水滴目标的激光等离子EUV线发射源的开发，该目标基本上没有碎片，并且能够连续，高重复频率（> 1 kHz）运行。该等离子体由适度（展开▼

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来源
《Optics Communications: A Journal Devoted to the Rapid Publication of Short Contributions in the Field of Optics and Interaction of Light with Matter》 |1998年第6期|共4页

作者
Martin Richardson; David Torres; Chris DePriest;
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原文格式 PDF

正文语种 eng

中图分类光学;

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