Tokyo Electron LTD 650 Mitsuzawa, Hosaka-machi, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan;
Tokyo Electron AT LTD. 2381-1 Kitagejo, Fujii-cho, Nirasaki Yamanashi, 408-8511 Japan;
Tokyo Electron AT LTD. 2381-1 Kitagejo, Fujii-cho, Nirasaki Yamanashi, 408-8511 Japa;
LWR; double patterning; spacer process; overlay; 32nm; 22nm; litho-litho-etch;
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