大学での電子デバイス研究·教育における計算機シミュレ一タの利用

摘要

電子デバィスゃ集積回路の活用分野は未だ広がり続けており，大学において半導体や電子デバィス の教育を行う意義は失われていない.しかし，大学の講義においては，ガウスの法則などを用い て，デバイス内部の電荷量（不純物イオン，反転電荷など）と電界や電位の関係を導出することが中 心的なトピックとなる.学生にとっては，限られた時間の中で様々な数式の導出過程を理解すること で精一杯であり，数式の導出の前提となっている仮定の妥当性まで考察する，あるいはデバイスの動 作をイメージするといつた時間を持つ余裕は無い.世界的には優れたデバイスの教科書がいくつもある[1,2]力5,残念ながらそれらを参照する時間は無さそうなのが現状である.教員にとっては，デバイ ス内部の電界や電位分布を示すことに教育的な効果があると思っても，それらを'正しく'示す資料 を準備することは至難の業である.大学教員が高精度なプロセス'デバイスシミュレータを手軽に利 用できれば，教育効果を高める資料を比較的簡単に準備できる可能性がある.