インプリント法を用いた微細貫通孔付き自立薄膜の作製

摘要

径の揃った微細貫通孔付自立薄膜は粒径制御できるフィルタ一等に利用できる。 これをナノインプリント法により作製する場合、基板上に作製した貫通孔付薄膜を破損せず に自立膜として取り外すことは大変難しい。本研究では水溶性ポリマーであるポリビニルァルコール（PVA)とポリエチレンテレフタレート（PET)から成る市販の2層シートを用い た新規プロセスで微細貫通孔付自立ポリスチレン（PS)薄膜を作製したので報告する。