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【24h】

Heat treatment in liquid water at 80oC used to improve the interface characteristic ofmetal-oxide-semiconductor capacitor

机译：在80oC的液态水中进行热处理以改善金属氧化物半导体电容器的界面特性

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《応用物理学会春季学術講演会;応用物理学会》|2018年|12.8|共1页
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作者
Yoshito Hirokawa; Masahiko Hasumi; Toshivuki Sameshima; Tomohisa Mizuno;
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作者单位

TUAT;

TUAT tsameshim@cc.tuat.ac.jp;

Kanagawa University;

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