大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける電力吸収の空間分布

摘要

はじめに近年、大気圧プラズマを大面積表面処理に応用する技術への注目が高まっており、均 一かつ高密度の大規模プラズマ装置が求められている。我々は、定在波発生を抑制した導波管に 長尺スロットを設けることにより、長尺の大気圧マイクロ波プラズマを生成する方法を提案して きた。また、より低電力で安定して放電を維持するために非対称断面構造の導波管を導入し、メ一トル長のArプラズマやN2プラズマ生成に成功している[1]。さらに、メートル長Ar放電におい て、長尺スロットの上流•下流の電力、およびプラズマの発光強度を測定したところ、上流と比 較し下流の電力は60%程低下しているにも関わらず発光強度の空間分布は高い均一性が保たれて いることがこれまでに確認されている[2]。空間均一な長尺プラズマ生成の理解のためには、この 長尺プラズマの生成'維持機構の理解が必要である。本研究では、長尺マイクロ波プラズマにお ける空間分布形成機構の解明を目的として、導波管内電力分布とプラズマ密度空間分布の関係に ついて調査したので報告する。