同軸導波管の外部導体ギヤップ間における マイクロ波プラズマ生成

摘要

近年、プラズマと液体の相互作用を利用した、廃液処理応用•バイオテクノロジ一/農業応用•材料合 成応用等が注目されている。これまでに我々は、導波管を貫く流路内にノズル部を設けベンチユリ効果によって減圧環境を生成するとともに、ノズル部に設けた放電用ギヤップにより水流周囲に直径6讓 の円環状マイクロ波プラズマを生成するィンライン型マイクロ波プラズマ装置を開発するとともに、 本装置を用いた流体処理効果について報告してきた[1]。さらなる液体処理量の増大を目指し、我々は 同軸導波管外周部へのギヤップ配置による円環状プラズマの大型化を提案しており、本報告では放電 易化を図るための放電部への誘電体配置による電磁界シミュレーシヨンを援用した最適化設計をおこ なった結果について報告する。