c 面サファイア基板上ZnO 薄膜成長におけるV, N 共添加ZnO バッファ層導入の効果

摘要

ZnO 薄膜の低温成膜において、バナジウム（V）添加が面内配向性の改善に、またV と窒素（N）の共添加が面直配向性の改善に有効であることを明らかにした[1,2]。本報告では、バッファ層としてV 添加ZnO 薄膜（VZO）もしくはV、N共添加ZnO 薄膜（VZON）を導入した場合のc 面サファイア基板上ZnO 薄膜成長について検討した。