岩塩構造 MgZnO/MgO積層構造の作製 と深紫外発光

摘要

短寿命かつ大型で、有害物質による環境への負荷が大きいガス光源に代わる新たな深紫外光源となりうる、ワイドバンドギャップ材料を用いた深紫外固体光源に関する研究が注目されており、当研究室ではMgZnOに着目している。MgZnOは最大7.8 eVのバンドギャップをもち[1]、真空紫外(VUV)領域と呼ばれる200 nm以下の波長域での固体光源実現の可能性を秘めている。本研究では薄膜の表面平坦性に着目し、MgZnO/MgO積層構造作製の条件の検討を行った。