GCS, Inc. 22315 Kashiwa Court, Torrance, CA 90505;
GaAs devices; backside; via etch; grass formation;
机译:环氧键合和停止蚀刻(EBASE)技术可实现(Al)GaAs异质结构的背面处理
机译:开发用于最大掩模蚀刻的过程配方和具有垂直侧壁的最大蚀刻速率,用于深度,高度各向异性电感耦合等离子体(ICP)蚀刻熔融二氧化硅的蚀刻
机译:HSQ电子束抗蚀工艺对ICP-RIE刻蚀TiO2纳米结构的影响
机译:一种简单的方法,可以通过蚀刻过程消除ICP背面偶尔的草地形成
机译:加拿大阿比比比省的U-Pb和Lu-Hf LA-ICP-MS碎屑锆石和结构研究,对含金,地壳规模断层的太古宙地球动力学过程和变形行为有影响
机译:单纯疱疹病毒1型ICP27突变体感染细胞中α-球蛋白和ICP0 mRNA的加工
机译:具有传统电感耦合等离子体(ICP)蚀刻器的深硅蚀刻工艺的开发
机译:用于Gaas等离子蚀刻背面通孔的多功能掩模工艺