Chemistry Department of Beijing Normal University, Beijing 100875, China;
photoresist; PAG; sulfonate; N-hydroxy maleopimarimide; 193nm;
机译:用于深紫外光致抗蚀剂的具有三甲基甲硅烷氧基的羧苯基马来酰亚胺和甲基丙烯酸酯新型共聚物的合成与表征
机译:用于深紫外光致抗蚀剂的具有三甲基甲硅烷基的新型共聚物的合成与表征
机译:二维动态CA方法用于光刻胶刻蚀模拟的改进及其在SU-8光刻胶深紫外光刻模拟中的应用
机译:新型深紫外正性光刻胶的设计与性能
机译:深紫外光致抗蚀剂技术中的问题:用于248和213 nm光刻的本体和表面成像抗蚀剂的表征和建模。
机译:具有甾族硫酸酯酶抑制剂的具有磺酸盐或氨基磺酸盐部分的新型芳酰胺衍生物的设计合成和生物学评估
机译:二氮化吡啶用于非化学扩增深紫外光抗蚀剂的合成与性能
机译:远(深)紫外高强度激光(准分子)辐射脉冲在聚合物中的孔形成(蚀刻)及其与聚合物深紫外光解中光刻胶的相关性