Federal State Unitary Enterprise "Institute of Aircraft Equipment" Zhukovsky, 140185, Russia;
机译:用分离的张涂鸦研究微型机电压力传感器的SOI异质结构边缘的弹性应力
机译:新型SOI单片电容式传感器,用于绝对和差压测量
机译:利用SDB-SOI技术制造高温硅压力传感器
机译:具有高温压力传感器单片状rame的SOI微机电传感器研究
机译:膜片拉伸和微机电压力传感器的接触问题。
机译:基于氧化铝陶瓷的可插入式被动式LC压力传感器用于高温环境中的原位压力传感
机译:SOI结构上高温压力传感器的开发
机译:车辆载荷,传感器深度和传感器类型对土压力的影响