Institute for Electrical Engineering and Plasma Technology Ruhr-Universitä;
t Bochum 44801 Bochum Germany|c|;
机译:SF6 / O2等离子体化学法对苯并环丁烯进行低压感应耦合等离子体刻蚀
机译:密集低压感应耦合射频放电碳氟化合物等离子体中的硅和二氧化硅蚀刻
机译:在电感耦合等离子体反应离子蚀刻中的多步 - 偏压蚀刻来减少血浆诱导的N型GaN损伤
机译:在电感耦合的低压等离子体中蚀刻枯草芽孢杆菌的细菌肠孢菌
机译:溶液雾化设备(超声波雾化器)用于电感耦合等离子体光谱法,备用等离子体源(低压电感耦合等离子体)用于质谱法。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:作为枯草芽孢杆菌胚胎涂层的结构组分发生的高度稳定的细菌漆酶的分子和生化表征
机译:电感耦合等离子体(ICp)干蚀刻中三氯化硼/氯气体分子外延生长p型氮化铝镓的刻蚀特性及表面分析