水晶振動子マイクロバランスを用いた有機半導体サブモノレイヤー薄膜の昇温脱離スペクトルの測定

摘要

薄膜成長において素過程を特徴づける重要な物理パラメータとして吸着あるいは脱離エネルギーが挙げられる。これらのパラメータを実験的に求める際には、基板に分子を吸着させ、加熱することにより脱離する分子のフラックスを四重極質量分析計により測定する昇温脱離法（Thermal desorption spectroscopy:TDS）が広く用いられている。本研究では、より簡便にTDS測定を行うことを目的として、水晶振動子マイクロバランス（Quartz Crystal Microbalance:QCM）に注目し、QCMを用いたTDS測定方法について検討したので報告する。