IMEC vzw, Kapeldreef 75, BE-3001 Heverlee, Belgium;
fluorine contamination; subsurface fluorine; ultrathin silicon oxides;
机译:中剂量氟注入提高了p〜+-多晶硅-栅p-沟道金属氧化物半导体的超薄栅氧化物完整性
机译:15%效率超薄硅太阳能电池与氟掺杂氧化钛和化学定制的聚(3,4-亚乙二氧基噻吩):Poly(苯乙烯Nate)作为不对称的杂静脉
机译:对热解N_2O钝化的超薄氧化硅/ Si(100)膜的附加氟钝化
机译:氟在干燥超薄硅氧化物中的起源
机译:硅上的超薄二氧化硅和氧化铝:界面的基础研究。
机译:热生长二氧化硅的超薄转移层作为生物集成柔性电子系统的生物流体屏障
机译:氟注入对硅干氧化动力学的影响
机译:硅的氟增强氧化。氟对氧化物应激和生长动力学的影响