Institute for Advanced Research, Nagoya University, Nagoya, Japan;
rnDepartment of Quantum Engineering, Nagoya University, Nagoya, Japan;
机译:等离子体中用于半导体加工的自由基测量的进展
机译:原子自由基监测探针的开发及其在基于自由基的等离子体处理中氢和氧原子自由基密度的空间分布测量中的应用
机译:用于材料加工的ECR和RF等离子体中CFX和SIHX自由基的测量
机译:自由基的测量技术,反应等离子体加工中的气相和表面反应
机译:通过等离子淬火技术进行等离子数据处理,速度测量和纳米级钛粉生产。
机译:电感耦合等离子体质谱法作为评估常规测量过程中血清钙测量偏差和加工材料可交换性的参考方法
机译:等离子喷涂TiO_2-金红石型半导体的光响应(物理,过程,仪器与测量)
机译:用于半导体制造的等离子体浸没离子注入工艺。用于原位测量的LinearReentrant交叉场放大器,与数值模拟的比较和噪声机制的研究