Microelectronics Research Center, The University of Texas at Austin, USA;
TSV; extrusion; microstructure; reliability; scaling;
机译:硅通孔(TSV)对3D互连的应力和可靠性的缩放效应
机译:3D互连:使用X射线显微镜观察各种温度下填充铜的硅通孔(TSV)中引起的挤压和空隙
机译:近表面热应力对3D互连硅直通孔界面可靠性的影响
机译:将铜通过硅通孔缩放对3D互连应力和可靠性的影响
机译:对3D集成电路中通过硅通孔的热应力和可靠性的缩放和微观结构效应
机译:量身定制飞秒的1.5μm贝塞尔光束以制造高纵横比的硅通孔
机译:Synchrotron X射线Microdiffraction对3-D集成的通过硅通孔通孔的可靠性的调查研究